ドライフィルム現像槽洗浄剤
6E224
| 特長 | ドライフィルム現像槽に生成した黄色スカムなどの汚れ成分を短時間で 溶解除去できる酸性タイプの洗浄剤です |
| 使用条件 |
濃度：6E223 原液 温度：室温～35℃ 時間：1～3時間 |
- 6E224
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入目：20kg
ダクトルDF700
| 特長 | ドライフィルム現像槽に生成した黄色スカムなどの汚れ成分を短時間で 除去できる酸性タイプの希釈型洗浄剤です |
| 使用条件 |
濃度：DF700 60～200g/L 温度：室温～35℃ 時間：1～3時間 |
- ダクトルDF700
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入目：20kg
ソルダーレジスト現像槽洗浄剤
1M112
| 特長 |
液状レジスト現像チャンバー専用の洗浄剤です スプレー循環するだけで、チャンバーやスプレーノズルに固着した レジスト・汚れを膨潤して除去できます |
| 使用条件 |
一次処理 濃度：1M112 500mL/L～原液 温度：20～40℃ 時間：3～5時間 二次処理 濃度：ダクトル711 50mL/L 温度：30～35℃ 時間：1時間 |
- 1M112
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入目：20kg
- ダクトル711
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入目：20kg
エッチング槽洗浄剤
ダクトル1080
| 特長 |
エッチング槽の洗浄剤です スプレー循環するだけで、チャンバーやスプレーノズルに固着した レジスト残渣・塩類などの汚れを膨潤し、エッチング槽を痛めることなく除去できます |
| 使用条件 |
一次処理 塩化鉄除去 濃度：1080A 100mL/L 1080B 20mL/L 1080C 20mL/L 塩化銅除去 濃度：1080A 100mL/L 1080B 20mL/L 温度：20～45℃ 時間：2～4時間 二次処理 濃度：ダクトル711 50mL/L 温度：30～35℃ 時間：1時間 |
- ダクトル1080A
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入目：25kg
- ダクトル1080B
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入目：20kg
- ダクトル1080C
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入目：20kg
- ダクトル711
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入目：20kg
ドライフィルムはく離槽洗浄剤
1H218
| 特長 | ドライフィルム剥離槽に生成した汚れ成分を短時間で溶解除去できる 酸性タイプの洗浄剤です |
| 使用条件 |
濃度：1H218A 200mL/L 1H218B 200mL/L 温度：室温～35℃ 時間：1～3時間 |
- 1H218A
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入目：20kg
- 1H218B
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入目：20kg
